Емкостный датчик давления — это тип датчика давления, в котором емкость используется в качестве чувствительного элемента для преобразования измеренного давления в изменение значения емкости.Этот тип датчика давления обычно использует круглую металлическую пленку или позолоченную пленку в качестве электрода конденсатора, когда пленка испытывает давление и деформируется, емкость, образованная между пленкой и неподвижным электродом, изменяется, и электрический сигнал может быть выход с определенным соотношением между напряжением через цепь измерения.
Емкостной датчик давления относится к емкостному датчику изменения полярного расстояния, который можно разделить на одиночный емкостный датчик давления и дифференциальный емкостной датчик давления.
Одноемкостный датчик давления состоит из круглой пленки и неподвижного электрода.Пленка деформируется под действием давления, тем самым изменяется емкость конденсатора, а его чувствительность примерно пропорциональна площади и давлению пленки и обратно пропорциональна натяжению пленки и расстоянию от пленки до неподвижного электрода. .Другой тип неподвижного электрода имеет вогнутую сферическую форму, а диафрагма представляет собой плоскость натяжения, закрепленную по периферии.Диафрагма может быть изготовлена методом пластического золочения.Этот тип подходит для измерения низкого давления и обладает высокой перегрузочной способностью.Одиночный емкостной датчик давления также может быть изготовлен из диафрагмы с подвижным полюсом поршня для измерения высокого давления.Этот тип уменьшает площадь прямого сжатия диафрагмы, поэтому для повышения чувствительности можно использовать более тонкую диафрагму.Он также интегрирован с различными секциями компенсации и защиты, а также схемами усиления для улучшения защиты от помех.Этот датчик подходит для динамического измерения высокого давления и телеметрии самолетов.Одноемкостные датчики давления также доступны микрофонного типа (т.е. типа микрофона) и типа стетоскопа.
Электрод диафрагмы давления дифференциального емкостного датчика давления расположен между двумя неподвижными электродами, образуя два конденсатора.Под действием давления емкость одного конденсатора увеличивается, а другого соответственно уменьшается, а результат измерения выдается по дифференциальной схеме.Его неподвижный электрод выполнен из позолоченного слоя на вогнутой изогнутой стеклянной поверхности.Диафрагма защищена от разрыва вогнутой поверхностью при перегрузке.Дифференциальные емкостные датчики давления имеют более высокую чувствительность и лучшую линейность, чем одноемкостные датчики давления, но их сложнее обрабатывать (особенно для обеспечения симметрии), и они не могут обеспечить изоляцию измеряемого газа или жидкости, поэтому они не подходят для работы в жидкостях с коррозионными или примесями.
Время публикации: 19 июня 2023 г.